L’un des principaux messages du Symposium technologique de TSMC cette semaine est que la société est un leader mondial de la fabrication de semi-conducteurs, en particulier dans le domaine de la technologie des procédés de pointe. Pour faire passer le message à la maison, TSMC a présenté une diapositive indiquant sa position par rapport aux autres: en utilisant une combinaison de déclarations ASML publiques et de leurs propres feuilles d’achat internes, TSMC prédit qu’ils ont installé ~ 50% de toutes les machines EUV actives. à l’échelle mondiale. Au-delà de cela, la société dispose également d’un nombre d’environ 60% pour la production cumulative de plaquettes EUV.

Les processus EUV publics connus des grandes usines incluent TSMC 7+ et N5, ainsi que 7LPP de Samsung (et tout ce qui est en dessous), les efforts EUV d’Intel n’entrant dans son propre portefeuille 7 nm que l’année prochaine. Tout ce qui va au-delà de ces processus à la pointe de la technologie continuera d’étendre l’utilisation d’EUV. Les machines EUV ont généralement un débit inférieur, allant de 120 à 175 wafers par heure, que les machines DUV ordinaires qui peuvent atteindre 275 wph sur les dernières versions, mais comme une couche d’EUV remplace généralement 3-4 couches de DUV, le débit est plus élevé. , mais néanmoins le désir de passer à plusieurs machines EUV pour augmenter le nombre physique de plaquettes est une cible de choix pour ces fonderies.

La seule entreprise qui fabrique des machines EUV est ASML, et l’entreprise annonce publiquement le nombre de machines qu’elle vend chaque année. Les détails sont les suivants:

Expéditions EUV d’ASML
2015 2016 2017 2018 2019 2020 2021
Réel 2 4 dix 3 4 5 6 4 7 7 8 2 9
Cible 20 30 35 45-50
2018 et au-delà est divisé par trimestre pour les nombres réels expédiés
Données tirées des rapports financiers d’ASML

Notez que chaque année jusqu’à présent, ASML n’a pas tout à fait atteint ses objectifs, mais en a fait assez près, bien que les ventes au premier trimestre 2020 aient été inférieures à ce à quoi je m’attendais, indiquant qu’à la fin du deuxième trimestre 2020, ASML n’en avait expédié que 13 sur proposé 35 systèmes. Ces chiffres incluent tous les différents types de machines Twinscan NXE construites par ASML, les plus récentes ayant un meilleur débit (et parfois les plus anciennes sont modernisées). À la fin du deuxième trimestre 2020, nous prévoyons qu’ASML a expédié environ 71 de ces machines EUV et atteindra probablement 90 d’ici la fin de 2020. Certains observateurs ont noté qu’ASML pourrait avoir un arriéré de jusqu’à 49 commandes de scanners EUV , même avec ces objectifs d’expédition.

Si ASML a expédié 71 machines, cela signifierait, selon les chiffres de TSMC, que l’entreprise en a environ 30 à 35. Notez que les numéros de TSMC concernent les machines «EUV installées» – nous avons appris de notre voyage à GlobalFoundries au premier trimestre 2018 qu’il faut jusqu’à 6 mois entre l’obtention des pièces et l’étalonnage de la machine avant utilisation. À l’heure actuelle, certaines de ces fonderies ont donc des machines EUV en attente d’être installées, ou dans le cas d’Intel, peut-être uniquement utilisées pour des tests précoces ou des essais pré-risques. Nous savons que GlobalFoundries avait deux premières machines EUV, en a installé une, mais a fini par vendre les deux quand elle a décidé de ne pas poursuivre le 7 nm de pointe, et SMIC en a commandé une, mais pour autant que nous sachions, elle n’a pas été installée en raison des restrictions imposées par les États-Unis. .

Alors que TSMC développe son Fab 18 pour la production de N5 et accélère son intégration EUV, il sera intéressant de voir si TSMC est un jour limité par le nombre de machines dont il dispose. À un moment donné, Intel voudra acheter un certain nombre lorsqu’il déploiera ses processus 7 nm (j’ai vu des prédictions selon lesquelles Intel a déjà au moins ~ 10 machines, mais je ne peux pas le confirmer) également, donc il pourrait y avoir un lutte pour savoir qui reçoit sa commande en premier.

Une chose est sûre cependant, ASML est assis assez en plein milieu avec un monopole sur tout. J’ai toujours une invitation à visiter l’une de leurs usines de machines EUV dans le Connecticut, que lorsque le désordre COVID sera terminé, j’ai l’intention de faire un suivi. Cela devrait être passionnant.

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